Ko te uara whainga o te haumākū whanaunga i roto i te rūma maa semiconductor (FAB).

Ko te uara whainga o te haumākū whanaunga i roto i te rūma maahuru (FAB) he tata ki te 30 ki te 50%, ka taea te tawhē whaiti o te hapa o ±1%, penei i te rohe lithography – he iti ake ranei i roto i te tukatuka ultraviolet tawhiti (DUV) rohe – i etahi atu waahi ka taea te whakangawari ki te ±5%.
Na te mea he maha nga ahuatanga o te haumuku ka taea te whakaiti i te mahinga o nga ruma ma, tae atu ki:
1. Te tipu huakita;
2. Te awhe whakamahana mahana mo nga kaimahi;
3. Ka puta te utu hiko;
4. Te waikura whakarewa;
5. Kohu kohu wai;
6. Te paheketanga o te lithography;
7. Te horo wai.

Ka taea e te huakita me etahi atu mea whakakino koiora (maaka, wheori, harore, mite) ka tupu i roto i nga taiao me te haumākū tata neke atu i te 60%.Ka taea e etahi o nga hapori huakita te tipu i runga i te haumākū whanaunga neke atu i te 30%.E whakapono ana te kamupene me whakahaere te makuku i roto i te 40% ki te 60%, ka taea te whakaiti i te paanga o te huakita me te mate manawa.

Ko te haumuku o te 40% ki te 60% he awhe ngawari hoki mo te whakamarietanga o te tangata.Ko te nui o te haumuku ka paopao te tangata, ko te makuku kei raro iho i te 30% ka maroke te kiri, ka pakaru te kiri, te manawa manawa me te pouri o te ngakau.

Ko te haumākū nui ka whakaiti i te kohinga o nga utu hiko i runga i te mata o te ruma horoi - he hua e hiahiatia ana.He pai te haumākū iti mo te whakaemi utu me te puna ka pakaru pea te tuku hiko.Ka neke ake te haumuku whanaunga ki te 50%, ka tere te mimiti o nga utu hiko, engari ka iti iho te haumuku whanaunga i te 30%, ka taea te tohe mo te wa roa i runga i te insulator, i te mata koretake ranei.

Ko te haumākū tata i waenga i te 35% me te 40% ka taea te whakamahi hei whakaraerae pai, a ko nga ruma maa semiconductor e whakamahi ana i etahi atu mana hei whakaiti i te kohinga o nga utu hiko.

Ko te tere o te maha o nga tauhohenga matū, tae atu ki nga tukanga waikura, ka piki ake i te pikinga o te makuku.He tere nga mata katoa e kitea ana ki te hau huri noa i te ruma ma.